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Halbleitertechnologie


M. Sc. Sven Ebschke – Wissenschaftlicher Angestellter


ausgeschieden



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Campus Adresse

 

Kurzlebenslauf

  • Jahrgang 1987
  • Oktober 2007 bis August 2012: Bachelor- und Masterstudium der Elektro- und Informationstechnik an der Technischen
    Universität Dortmund mit dem Schwerpunkt „Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik“
  • August 2011 bis Januar 2012: Auslandsstudium an der Chalmers tekniska högskola, Göteborg, Schweden mit dem
    Schwerpunkt „Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik“
  • Thema der Bachelorarbeit: „Untersuchung zur Realisierung eines siliziumbasierten Drucksensors“
  • Thema der Masterarbeit: „Entwicklung eines neuartigen Wandlers auf Silicon-on-Insulator-Substrat zur Auswertung
    eines in Planartechnologie gefertigten Drucksensors”
  • Abschluss: Master of Science (mit Auszeichnung)
  • Seit 2012: Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme
  • Vorläufiges Thema der Dissertation: Entwicklung eines neuartigen und nanoskaligen Sensorsystems zur simultanen
    Messung des Fluidflusses und Fluiddrucks

 

Arbeitsgebiete

  • Nanoelektromechanische Systeme (NEMS)
  • Nanosensorik
  • Elektronenstrahl-Nanostrukturierung
  • Mikro-/Nanofluidik

Veröffentlichungen

 

Bücher, Zeitschriften, Tagungsbeiträge

  • S. Ebschke, J. Zimmermann, A. Wiggershaus, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    „Test environment for characterization of a nanoscale sensor system consisting of fluid flow sensors based
    on the Thermal-Time-of-Flight (TToF) principle and absolute pressure sensors”
    Proceedings of the 2014 IEEE Sensors Conference, Valencia, Spain 2014, November 02-05, pp. 1340-1343

  • S. Ebschke, M. Wieker, J. Gerwinn, A. Loechte, K. T. Kallis and H. L. Fiedler
    „Charging effects on SOI based NEMS by the example of a nanoscale Thermal-Time-of-Flight (TToF) sensor”
    Proceedings of the 14th International IEEE Conference on Nanotechnology, Toronto, Canada 2014, August 18-21,
    pp. 785-788

  • S. Ebschke, R .R. Poloczek and K .T. Kallis and H. L. Fiedler
    „Konzept eines nanoskaligen Sensorsystems zur simultanen Erfassung von Druck und Flussgeschwindigkeit in Fluiden“
    ITG Fachbericht 250 zur 17. ITG/GMA Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2014, Nürnberg, Germany 2014,
    ISBN 978-3-8007-3622-5

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek and K. T. Kallis
    „Konzept eines nanoskaligen Sensorsystems zur simultanen Erfassung von Druck und Flussgeschwindigkeit in Fluiden“
    In: chemie&more, Vol. 3.14 (2014), pp. 10-12

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Beides gleichzeitig messen - Nanoskaliger Kombisensor zur simultanen Erfassung von Gasdruck und Gasfluss"
    In: chemie&more, Vol. 3.14 (2014), pp 10-12

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis and H. L. Fiedler
    "Creating a monocrystalline membrane via etching and sealing of nanoholes considering its sealing behaviour"
    In: Journal of Nano Research Vol. 25 (2013), pp 49-54

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "A monocrystalline absolute pressure sensor with a pseudo-MOSFET read-out device for life-science applications"
    Proceedings of the IEEE Sensors Conference, Baltimore, Maryland, USA 2013, November 4 - November 6

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Planar technology integration of monocrystalline Silicon-membranes using nanoholes"
    Proceedings of the 13th IEEE International Conference on Nanotechnology, Beijing, China 2013, August 5 - August 8

 

Vorträge auf internationalen Tagungen

  • S. Ebschke, J. Zimmermann, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Towards a nanoscale sensor system for intra-arterial simultaneous blood flow and pressure measurement"
    EnFI 2015 Conference, Hannover, Germany 2015, July 6 - 7

  • S. Ebschke, J. Gerwinn, A. V. Patel, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Modelling and Simulation of a Thermal-Time-of-Flight (TToF) Sensor for measuring the blood flow velocity"
    BMT 2014 - 48th DGBMT Annual Conference, Hannover, Germany 2014, October 8 - October 10

  • S. Ebschke, M. Wieker, M. Muehlbauer, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Optimization of a nanoscale Thermal-Time-of-Flight (TToF) sensor by using electron-beam lithography (EBL)"
    Workshop Ionenstrahlen & Nanostrukturen, Paderborn, Germany 2014, July 20 – July 22

  • S. Ebschke, M. Wieker, J. Gerwinn, K. T. Kallis and H. L. Fiedler
    „Nanoscale thermal-time-of-flight sensor for measuring blood flow velocity“
    10th International Nanotechnology Symposium, Dresden, Germany 2014, July 1-3

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Konzept eines nanoskaligen Sensorsystems zur simultanen Erfassung von Druck und Flussgeschwindigkeit in Fluiden"
    17. ITG / GMA Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2014, Nuremberg, Germany 2014, June 3 - June 4 

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "A monocrystalline absolute pressure sensor with a pseudo-MOSFET read-out device for life-science applications"
    IEEE Sensors Conference, Baltimore, Maryland, USA 2013, November 4 - November 6

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Planar technology integration of monocrystalline Silicon-membranes using nanoholes"
    13th IEEE International Conference on Nanotechnology, Beijing, China 2013, August 5 - August 8

 

Posterbeiträge auf internationalen Tagungen

 

  • S. Ebschke, J. Zimmermann, R. R. Poloczek, K. T. Kallis and H. L. Fiedler
    „Towards a nanoscale sensor system for intra-arterial simultaneous blood flow and pressure measurement”
    EnFI 2015 Conference – Engineering of functional Interfaces, Hannover, Germany, 2015, July 06-07 (peer reviewed)

  • S. Ebschke, J. Zimmermann, A. Wiggershaus, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    " Test environment for characterization of a nanoscale sensor system consisting of fluid flow sensors based on the
    Thermal-Time-of-Flight (TToF) principle and absolute pressure sensors "
    IEEE Sensors Conference, Valencia, Spain 2014,  November 3 - November 5

  • S. Ebschke, J. Gerwinn, A. V. Patel, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Modelling and Simulation of a Thermal-Time-of-Flight (TToF) Sensor for measuring the blood flow velocity"
    BMT 2014 - 48th DGBMT Annual Conference, Hannover, Germany 2014, October 8 - October 10

  • S. Ebschke, M. Wieker, J. Gerwinn, A. Loechte, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Charging effects on SOI based NEMS by the example of a nanoscale Thermal-Time-of-Flight (TToF) sensor"
    14th IEEE International Conference on Nanotechnology, Toronto, Canada 2014, August 18 - August 21


  • S. Ebschke, M. Wieker, M. Mühlbauer, K. T. Kallis and H. L. Fiedler
    „Optimization of a nanoscale Thermal-Time-of-Flight (TToF) sensor by using electron-beam lithography (EBL)"
    Workshop Ionenstrahlen & Nanostrukturen, Paderborn, Germany 2014, July 20-22

  • S. Ebschke, M. Wieker, J. Gerwinn, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Nanoscale thermal-time-of-flight sensor for measuring blood flow velocity"
    10th International Nanotechnology Symposium - New ideas for industry -, Dresden, Germany 2014, July 1 - July 3

  • S. Ebschke, R. R. Poloczek, K. T. Kallis, H. L. Fiedler
    "Sticking prevention of nano-structured monocrystalline silicon-membranes"
    4th International Conference from Nanoparticles and Nanomaterials to Nanodevices and Nanosystems 2013, Corfu, Greece 2013, June 16 - June 20